| 公开(公告)号 | CN1970831A |
| 公开(公告)日 | 2007.05.30 |
| 申请(专利)号 | CN200510126889.9 |
| 申请日期 | 2005.11.25 |
| 专利名称 | 化学气相沉积装置 |
| 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 分案原申请号 | |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 中华映管股份有限公司 |
| 发明(设计)人 | 柯志伟;庄仁吉;范世衡 |
| 地址 | 中国台湾台北市 |
| 颁证日 | |
| 国际申请 | |
| 进入国家日期 | |
| 专利代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 国省代码 | 台湾;TW |
| 主权项 | 一种化学气相沉积装置，其包括： 一反应器，具有一排气端； 一防漏伸缩管结构，其包括： 一压缩性本体，具有一波纹管； 一套筒，设置于该波纹管内，该套筒的一端连接该反应器的排气端；以及 一垫圈，设置于该本体的一端；以及 一排气管，连接于该防漏伸缩管结构的垫圈，用以排出废气。 |
| 摘要 | 化学气相沉积装置，包括一反应器、一防漏伸缩管结构以及一排气管。该防漏伸缩管结构包括一压缩性本体，一套筒以及一垫圈。该垫圈设置于该本体的一端，用来连接该排气管。该套筒设置于该本体内，该套筒的一端与该反应器相连接，该套筒可避免废气直接接触该本体而残留于该本体内。另外，由于该压缩性本体以一体成型的方式形成，在废气排出的过程中，可避免废气自该压缩性本体中泄漏出，因此可提高制作工艺的质量。 |
| 国际公布 |
