| 公开(公告)号 | CN1901136A |
| 公开(公告)日 | 2007.01.24 |
| 申请(专利)号 | CN200610010244.3 |
| 申请日期 | 2006.06.30 |
| 专利名称 | 多阴极脉冲弧等离子体源装置 |
| 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I;H05G1/00(2006.01)I |
| 分案原申请号 | |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 哈尔滨工业大学 |
| 发明(设计)人 | 王浪平;王小峰;王宇航;汤宝寅 |
| 地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
| 颁证日 | |
| 国际申请 | |
| 进入国家日期 | |
| 专利代理机构 | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 |
| 代理人 | 岳泉清 |
| 国省代码 | 黑龙江;23 |
| 主权项 | 一种多阴极脉冲弧等离子体源装置，它包括阳极外套(1)、阴极外套(2)、上端盖(3)、磁场线圈一(9)、绝缘垫圈(8)、绝缘垫(11)、推力轴承(23)、绝缘块(22)、弧放电装置(101)和磁过滤装置(102)；其特征在于本发明还包括主动齿轮(12)、从动齿轮(13)、推进杆(14)、移动杆(15)、支撑杆(16)、手柄一(17)、手柄二(18)、轴承一(19)和旋转圆筒(21)；所述的弧放电装置(101)由阴极(4)、阳极(5)、触发极(6)、绝缘瓷套(7)和公共弹簧触发杆装置(20)组成；所述的磁过滤装置(102)由不锈钢弯管(10)和磁场线圈二(25)组成；阳极外套(1)与上端盖(3)之间装有绝缘垫圈(8)，旋转圆筒(21)上装有推力轴承(23)，旋转圆筒(21)的下端穿过上端盖(3)的中心孔与阴极外套(2)的上端固定连接，阴极外套(2)装在阳极外套(1)内，装在阴极外套(2)上的推进杆(14)的下端与阴极(4)的上端固定连接，阴极(4)沿阴极外套(2)的底端面(2-1)的圆周均布，触发极(6)通过绝缘瓷套(7)装在阴极(4)上，阳极外套(1)内装有公共弹簧触发杆装置(20)，公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触，公共弹簧触发杆装置(20)通过绝缘块(22)、支撑杆(16)与上端盖(3)固定连接，推进杆(14)的上端外壁上具有外螺纹(14-1)，推进杆(14)的上端装有与推进杆(14)螺纹连接的从动齿轮(13)，移动杆(15)穿过旋转圆筒(21)装在阴极外套(2)内，移动杆(15)的上端与手柄一(17)固定连接，移动杆(15)的下端固定装有可与从动齿轮(13)相啮合的主动齿轮(12)，移动杆(15)与旋转圆筒(21)的上下两端之间各装有轴承一(19)，旋转圆筒(21)的侧壁上固定装有手柄二(18)，阳极外套(1)的外端面上装有磁场线圈一(9)，阳极(5)位于阴极(4)中心圆(4-1)的正下方，阳极(5)与阳极外套(1)的下端面固定连接，阳极(5)的下端装有与阳极外套(1)的下端面固定连接的不锈钢弯管(10)，阳极(5)与不锈钢弯管(10)之间装有绝缘垫(11)，不锈钢弯管(10)的外壁上缠绕有磁场线圈二(25)。 |
| 摘要 | 多阴极脉冲弧等离子体源装置，它涉及一种脉冲等离子体产生装置。针对现有脉冲阴极弧等离子体源，存在易短路的问题及采用在真空室上安装多个阴极弧等离子体源，存在设备投资大和采用破坏真空的方法，存在工件强化层性能差的问题。本发明的推进杆(14)装在阴极外套(2)内并与阴极(4)相连接，装在阴极(4)上的触发极(6)与阴极(4)之间装有绝缘瓷套(7)，公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触，推进杆(14)上装有螺旋传动的从动齿轮(13)，移动杆(15)的下端装在阴极外套(2)内，移动杆(15)的下端装有主动齿轮(12)，阳极(5)位于阴极4的正下方，阳极(5)的下端装有不锈钢弯管总成(10)。本发明具有稳定工作时间长、可在不破坏真空的条件下实现多个阴极的任意切换的优点。 |
| 国际公布 |
